Heteroepitaxy of GaAs on Si by MOCVD
Heteroepitaxy of GaAs on Si by MOCVD
复制标题
MOCVD 在 Si 上异质外延 GaAs
DOI:
10.1557/proc-91-69
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发表时间:
1987
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M. Umeno
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Soga;T. Imori;M. Umeno