Heteroepitaxy of GaAs on Si by MOCVD

Heteroepitaxy of GaAs on Si by MOCVD
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MOCVD 在 Si 上异质外延 GaAs

DOI:
10.1557/proc-91-69
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发表时间:
1987
期刊:
MRS Proceedings
影响因子:
--
通讯作者:
M. Umeno
M. Umeno
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Soga;T. Imori;M. Umeno

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