電子線照射を用いたポリスチレン薄膜の光ナノパターニング
電子線照射を用いたポリスチレン薄膜の光ナノパターニング
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使用电子束辐照对聚苯乙烯薄膜进行光学纳米图案化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
香村惟夫・井村考平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshio Kamura;Kohei Imura;香村惟夫・井村考平;香村惟夫・井村考平;須田祥功・香村惟夫・井村考平;香村惟夫・井村考平
