ミスト CVD 法による二酸化モリブデンのエピタキシャル成長

ミスト CVD 法による二酸化モリブデンのエピタキシャル成長
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雾气CVD法外延生长二氧化钼

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
股村雄也,池之上卓己,三宅正男,平藤哲司
股村雄也,池之上卓己,三宅正男,平藤哲司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Miyake Masao;Yamamoto Ken;Ikenoue Takumi;Hirato Tetsuji;股村雄也,池之上卓己,三宅正男,平藤哲司

文献摘要

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