Nano-Motion X-Y Stage by Pneumatic Servo Spherical Bearing Actuators
Nano-Motion X-Y Stage by Pneumatic Servo Spherical Bearing Actuators
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采用气动伺服球面轴承执行器的纳米运动 X-Y 平台
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Katsumi Sasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Atsushi Sugimoto;Tomoko Hirayama;Takashi Matsuoka;Katsumi Sasaki
