Seiichi Hasegawa: "Effects of active H on the stress relaxation of A-SiN_x" Journal of Applied Physics. 75. 1493-1500 (1994)

Seiichi Hasegawa: "Effects of active H on the stress relaxation of A-SiN_x" Journal of Applied Physics. 75. 1493-1500 (1994)
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Seiichi Hasekawa:“活性 H 对 A-SiN_x 应力松弛的影响”应用物理学杂志。

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