微粒子応用SiC の高速液相エピタキシャル成長
微粒子応用SiC の高速液相エピタキシャル成長
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细颗粒 SiC 的高速液相外延生长
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉川 健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山口 彰太;鳴海 大翔;吉川 健
