スパッタリング法を用いたn型Ga2O3の作製
スパッタリング法を用いたn型Ga2O3の作製
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溅射法制备n型Ga2O3
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤田実樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木悠介;藤田実樹
