R.Itatani et.al: "Plasma Free Window for Microwave." Proc.7th Symp.on Plasma Processing. 81-84 (1990)
R.Itatani et.al: "Plasma Free Window for Microwave." Proc.7th Symp.on Plasma Processing. 81-84 (1990)
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R.Itatani 等人：“微波无等离子体窗口”。
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