マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術(9章 樹脂フィルムパターンニング技術)
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術(9章 樹脂フィルムパターンニング技術)
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微纳器件刻蚀技术（第九章树脂薄膜图形化技术）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内昌治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
栗林香織;竹内昌治
