Low temperature deposited ZrB_2 92km applicable to extremely fain barrier against copper interconmect
Low temperature deposited ZrB_2 92km applicable to extremely fain barrier against copper interconmect
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低温沉积ZrB_2 92km 适用于铜互连极薄屏障
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et.al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. B. Takyama;A. Noya;et.al.
