Hybrid ultrasonic micromachined motors

Hybrid ultrasonic micromachined motors
复制标题

混合式超声波微机械电机

DOI：
10.1109/memsys.1993.296966
复制
发表时间：
1993
期刊：
[1993] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
--
通讯作者：
N. D. de Rooij
N. D. de Rooij
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
G. Racine;R. Luthier;N. D. de Rooij

文献摘要

被引文献

相似文献

利用硅微机械加工技术和金属微机械元件制作了一种混合型超声波电机。弹性力马达（EFM）的概念被应用于驻波到机械能的转换。毫米尺寸的原型（6*6*2 mm）显示出有趣的特性。观察到自由旋转速度高达600 rpm，净扭矩为50 nNm。典型应用是电子表的电动化或仪器仪表中的定位系统。&lt;<ETX>&gt;
A hybrid ultrasonic motor has been fabricated using silicon micromachining and metallic micromechanical components. The concept of elastic force motors (EFMs) is applied for the conversion of standing waves to mechanical energy. Millimeter-size prototypes (6*6*2 mm) show interesting characteristics. Free rotation speed up to 600 rpm and net torque of 50 nNm are observed. Typical applications are the motorization of electronic watches or the positioning systems in instrumentation.<<ETX>>