Analysis of the Shape of Cross Sectons Developed under Shave-off Condition Sputtering
Analysis of the Shape of Cross Sectons Developed under Shave-off Condition Sputtering
复制标题
刮削条件溅射下形成的横截面形状分析
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
B. Tomiyasu and M. Owari
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S.-H. Kang;M. Furushima;H. Asakura;A. Habib;Y. Kim;B. Tomiyasu and M. Owari
