Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films
Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films
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Al掺杂氢化微晶立方碳化硅薄膜的退火特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinsuke Miyajima et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川口拓之;岡田英史;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Shigeyuki Muto;Junko Yahiro;Hiroaki Imai;Yuya Oaki;Kozue Furuichi;Takashi Miura;Kozue Furuichi;今井宏明;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Yuya Oaki;Hiroaki Uchiyama;Hiroaki Imai;Shinsuke Miyajima et al.
