誘導結合プラズマにおけるプラズマインピーダンスの気圧依存性
誘導結合プラズマにおけるプラズマインピーダンスの気圧依存性
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电感耦合等离子体中等离子体阻抗的压力依赖性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鎌田貴晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田健太;向川政治;高木浩一;高橋克幸;鎌田貴晴
