磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチデバーの形成
磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチデバーの形成
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用于磁性传感器的 FePd 薄膜堆叠的 MEMS 悬臂的形成
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西方孝志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V.Darakchieva;K.Lorenz;N.P Barradas;E.Alves;L.Artus;D.Rogala;H.-W.Becker.C.L.Hsiao;L.C.Chen;L.W.To;T.Yamaguchi;Y.Nanishi;青野雅之;西方孝志
