大気圧プラズマ化学輸送法を用いた機能薄膜の形成
大気圧プラズマ化学輸送法を用いた機能薄膜の形成
复制标题
利用常压等离子体化学传输法形成功能薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大泰宏昌;垣内弘章;安武潔
