Analysis of cluster growth in magnetron-sputtering metal-cluster source by optical emission spectroscopy
Analysis of cluster growth in magnetron-sputtering metal-cluster source by optical emission spectroscopy
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发射光谱分析磁控溅射金属团簇源中团簇生长
DOI：
10.1246/cl.190727
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and A. Terasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kono;M. Arakawa;and A. Terasaki
