圧電トランス型プラズマリアクタの表面電位と放電電力空間分布
圧電トランス型プラズマリアクタの表面電位と放電電力空間分布
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压电变压器式等离子体反应器的表面电势与放电功率空间分布
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤晴雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤将太;寺西研二;下村直行;伊藤晴雄
