ミストCVD法を用いたm面サファイア基板上VO2薄膜の作製と構造転移

ミストCVD法を用いたm面サファイア基板上VO2薄膜の作製と構造転移
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雾气CVD法在m面蓝宝石衬底上制备VO2薄膜及其结构转变

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
片山光浩
片山光浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
潮田和季;松浦直毅;久保理;田畑博史;片山光浩

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