Tactics for Picometer Positioning using Active Aerostatic Lubrication

Tactics for Picometer Positioning using Active Aerostatic Lubrication
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使用主动空气静压润滑的皮米定位策略

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proceeding of 7th international conference of euspen Vol.1
影响因子：
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通讯作者：
Y. Tazoe and Y. Kami
Y. Tazoe and Y. Kami
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H. Mizumoto;Y. Yabuta;S. Arii;Y. Tazoe and Y. Kami

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