ナノ薄膜の弾性特性に関する研究～超音波を利用した弾性定数計測法の開発～
ナノ薄膜の弾性特性に関する研究～超音波を利用した弾性定数計測法の開発～
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纳米薄膜的弹性特性研究 - 超声波弹性常数测量方法的开发 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平尾雅彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村暢伴;荻博次;平尾雅彦
