Novel route for the production of X-ray masks from a range of organometallic films
Novel route for the production of X-ray masks from a range of organometallic films
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用一系列有机金属薄膜生产 X 射线掩模的新路线
DOI：
10.1016/s0167-9317(98)00064-1
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发表时间：
1998
影响因子：
2.3
通讯作者：
N. Takeyasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Davidson;G. J. Berry;J. Cairns;A. Fitzgerald;B. Lawrenson;J. Thomson;I. Turcu;W. Shaikh;N. Spencer;R. Allott;N. Takeyasu
