Numerical analysis of the time-dependent radio-frequency sheath behavior using a two-dimensional microscale model
Numerical analysis of the time-dependent radio-frequency sheath behavior using a two-dimensional microscale model
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使用二维微尺度模型对随时间变化的射频鞘行为进行数值分析
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. R. Myra
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kohno;J. R. Myra
