Crystal orientations of hafnium nitride thin films prepared at different positions by rf magnetron sputtering
Crystal orientations of hafnium nitride thin films prepared at different positions by rf magnetron sputtering
复制标题
射频磁控溅射不同位置制备氮化铪薄膜的晶体取向
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomoaki Osumi and Yasuhito Gotoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chikako Ishizuka;南川丈夫;Tomoaki Osumi and Yasuhito Gotoh
