H.Toyoda, N.Takada, H.Sugai: "Observation of SiO_2 Surface Irradiated by Fluorocarbon Neutrals and Energetic Ion Beam"Proc.Int.Sympo.Dry Process '03. 259-264 (2003)
H.Toyoda, N.Takada, H.Sugai: "Observation of SiO_2 Surface Irradiated by Fluorocarbon Neutrals and Energetic Ion Beam"Proc.Int.Sympo.Dry Process '03. 259-264 (2003)
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H.Toyoda、N.Takada、H.Sugai：“氟碳中性粒子和高能离子束照射的 SiO_2 表面的观察”Proc.Int.Sympo.Dry Process 03。
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