貝殻セラミックススラリーによるシリコンのポリシング

貝殻セラミックススラリーによるシリコンのポリシング
复制标题

壳陶瓷浆料抛光硅

DOI:
--
复制
发表时间:
2004
期刊:
2004年度 精密工学会春季大会春季学術講演会 講演論文集
影响因子:
--
通讯作者:
庄司克雄
庄司克雄
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
中村等;若松義信;庄司克雄

文献摘要

相似文献