シリコンウェハー薄膜界面領域の断面走査トンネル顕微観察を目指したへき開手法の開発
シリコンウェハー薄膜界面領域の断面走査トンネル顕微観察を目指したへき開手法の開発
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硅片薄膜界面区截面扫描隧道显微观察解理方法的研制
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大門寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
服部賢;立花和也;大門寛
