冷凍ベンゼンをターゲットとして用いたPLD法によるa-C:H薄膜の作製
冷凍ベンゼンをターゲットとして用いたPLD法によるa-C:H薄膜の作製
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以冷冻苯为靶材的PLD法制备a-C:H薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤俊一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武井章生;中村貴宏;佐藤俊一
