山田 啓司: "パルスYAGレーザによるSiウエハの割断機構に関する研究"精密工学会誌. 67・11. 1861-1865 (2001)
山田 啓司: "パルスYAGレーザによるSiウエハの割断機構に関する研究"精密工学会誌. 67・11. 1861-1865 (2001)
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Keiji Yamada：“使用脉冲 YAG 激光的硅晶片切割机制的研究”日本精密工程学会杂志 67・11（2001 年）。
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