Silicon film formation by hydrogen reactions
Silicon film formation by hydrogen reactions
复制标题
通过氢反应形成硅膜
DOI：
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Comes
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Roth;F. Comes
