Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製
Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製
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SOG 填充硅沟槽制备紧密双 AFM 探针和镍堆叠双悬臂梁
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柴田隆行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川島健太;峯田貴;牧野英司;川島貴弘;柴田隆行
