Microwave discharges : fundamentals and applications
Microwave discharges : fundamentals and applications
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Ferreira;M. Moisan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Ferreira;M. Moisan
表面波放电：有界等离子体中的波传播 C. Boisse-Laporte。等离子体中的强阻尼表面波 G. Lister。微波等离子体源：表面波等离子体源 Z. Zakrzewski 等人。 ECR 等离子体源 R. Wilhelm。诊断：高电子密度等离子体的光学诊断 M. van de Sanden。发射探头在 HF 等离子体中的使用迪亚斯。建模：微波放电的动力学建模费雷拉。分子气体中的时间依赖性 EEDF M. Capitelli 等人。光源：微波放电在高功率光源中的应用 J. Waymouth。应用：微波等离子体的半导体加工应用 J. Paraszczak、J. Heidenreich。双微波/射频等离子体中的离子轰击效应 M. Wertheimer，L. Martinu。 24 篇附加文章。指数。
Surface Wave Discharges: Waves Propagation in Bounded Plasmas C. Boisse-Laporte. Strongly Damped Surface Waves in Plasmas G. Lister. Microwave Plasma Sources: Surface Wave Plasma Sources Z. Zakrzewski, et al. ECR Plasma Sources R. Wilhelm. Diagnostics: Optical Diagnostic for High Electron Density Plasmas M. van de Sanden. Use of Emissive Probes in HF Plasmas F.M. Dias. Modeling: Kinetic Modeling of Microwave Discharges C.M. Ferreira. Time-Dependent EEDFs in Molecular Gases M. Capitelli et al. Light Sources: Applications of Microwave Discharges to High Power Light Sources J. Waymouth. Applications: Semiconductor Processing Applications of Microwave Plasmas J. Paraszczak, J. Heidenreich. Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas M. Wertheimer, L. Martinu. 24 additional articles. Index.