環状オリゴマーに基づいた化学増幅型分子レジストのレジスト性能評価に関する研究
環状オリゴマーに基づいた化学増幅型分子レジストのレジスト性能評価に関する研究
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基于环状低聚物的化学放大型分子光刻胶性能评价研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本 洋揮
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Yamamoto;Takahiro Kozawa;山本 洋揮
