自立4H-SiCエピ膜のキャリアライフタイム測定による表面再結合評価
自立4H-SiCエピ膜のキャリアライフタイム測定による表面再結合評価
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通过测量自支撑 4H-SiC 外延膜的载流子寿命来评估表面复合
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
市村正也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤正史;吉田敦史;市村正也
