Ultra-precise positioning over a One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw (Construction of Positioning Mechanism for Fundamental Experiments)
Ultra-precise positioning over a One-Millimeter Stroke Using Differential Ball Screw (Construction of Positioning Mechanism for Fundamental Experiments)
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利用差动滚珠丝杠进行一毫米行程的超精密定位（基础实验用定位机构的构建）
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naoto ARUGA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shigeo FUKADA;Shigeyuki MOTOHASHI;Kazuki FUKUOKA;Daiki FUKUI;Naoto ARUGA
