板垣 奈穂: "Electron-temperature dependence of nitrogen dissociation in 915 MHz ECR plasma"Thin Solid Films. Vol.435. 253-259 (2003)
板垣 奈穂: "Electron-temperature dependence of nitrogen dissociation in 915 MHz ECR plasma"Thin Solid Films. Vol.435. 253-259 (2003)
复制标题
Naho Itagaki：“915 MHz ECR 等离子体中氮解离的电子温度依赖性”薄固体薄膜，第 435 卷（2003 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
