テンポラリー接合を用いたマルチリシック集積化技術
テンポラリー接合を用いたマルチリシック集積化技術
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使用临时键合的多片集成技术
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福島 誉史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Totsu;S. Sakaino;T. Tsuji:;緒方海希，野口敏彦;福島 誉史
