C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の積層
C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜の積層
复制标题
C_8F_<18>利用等离子CVD法层叠a-C:F膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
小池広恵
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
山内達也;(発表者);菅原広剛;酒井洋輔;須田善行;小池広恵
