L.Zhou: "State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer"Journal of Materials Processing Technology. 129・1-3. 34-40 (2002)
L.Zhou: "State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300mm Si Wafer"Journal of Materials Processing Technology. 129・1-3. 34-40 (2002)
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周立:“φ300mm硅片一站式精加工的最新技术和运动学分析”材料加工技术杂志129・1-3(2002年)。
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