X-Ray diffraction analysis and modeling of the depth profile of lattice strains in AlGaN stacks
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DOI：
10.1016/j.tsf.2021.138777
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发表时间：
2021-06
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
D. Rafaja;P. Fischer;M. Barchuk;M. Motylenko;C. Röder;S. Besendörfer;E. Meissner
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Rafaja;P. Fischer;M. Barchuk;M. Motylenko;C. Röder;S. Besendörfer;E. Meissner
