弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構(第3報,3自由度平面位置決め機構による連続軌跡制御)
弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構(第3報,3自由度平面位置決め機構による連続軌跡制御)
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弹性导轨——电磁力驱动的毫行程超精密定位机构（第3部分，利用三自由度平面定位机构的连续轨迹控制）
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田智明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深田茂生;西村建太朗;松田智明
