集束プロトンビーム描画によるレジスト材料のマイクロマシニング
集束プロトンビーム描画によるレジスト材料のマイクロマシニング
复制标题
通过聚焦质子束写入对抗蚀剂材料进行微加工
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
神谷 富裕
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
打矢 直之;原田 卓也;村井 将人;西川 宏之;芳賀 潤二;酒井 卓郎;佐藤 隆博;及川 将一;石井 保行;福田 光宏;山本 春也;神谷 富裕
