M.Kurachi;Y.Nakamura: 第6回プラズマプロセシング研究会資料. 510-513 (1989)
M.Kurachi;Y.Nakamura: 第6回プラズマプロセシング研究会資料. 510-513 (1989)
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M.Kurachi；Y.Nakamura：第六等离子体处理研究组材料 510-513 (1989)。
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