スパッタアニールAlN上GaN/AlN 2次元正孔ガス構造の電気特性評価と微細構造解析
スパッタアニールAlN上GaN/AlN 2次元正孔ガス構造の電気特性評価と微細構造解析
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溅射退火AlN上GaN/AlN二维空穴气体结构的电性能评估和微观结构分析
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井 朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西村 海音;中西 悠太;林 侑介;藤平 哲也;Chaudhuri Reet;Cho Yongjin;Xing Huili (Grace);Debdeep Jena;上杉 謙次郎;三宅 秀人;酒井 朗
