Ultraprecision Straight Microgrooving with Pattern by Means of a High Speed Shuttle Unit-猫眼课题宝

利用高速往复装置进行带图案的超精密直线微槽加工

DOI：

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发表时间：

2005

期刊：

Proc.of 5th Int.Conf.of EUSPEN

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

T.Kawai;K.Ebihara;Y.Takeuchi