I.Yamada,H.Takaoka,H.Usui and T.Takagi: J.Vac.Sci.Technol.(1985)
I.Yamada,H.Takaoka,H.Usui and T.Takagi: J.Vac.Sci.Technol.(1985)
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I.Yamada、H.Takaoka、H.Usui 和 T.Takagi：J.Vac.Sci.Technol.(1985)
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