K.Sakiyama, T.Hara and T.Onda: "Arsenic Ion Implantation into SIMOX Layrs" J.Electrochem.Soc.Vol.143, No.3. 67-69 (1996)
K.Sakiyama, T.Hara and T.Onda: "Arsenic Ion Implantation into SIMOX Layrs" J.Electrochem.Soc.Vol.143, No.3. 67-69 (1996)
复制标题
K.Sakiyama、T.Hara 和 T.Onda:“砷离子注入 SIMOX Layrs”J.Electrochem.Soc.Vol.143,No.3。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: