UVナノインプリント法を用いたナノメートル精度の金型作り
UVナノインプリント法を用いたナノメートル精度の金型作り
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使用UV纳米压印方法制造纳米级精度的模具
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岩長祐伸
中科院分区:
文献类型:
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作者:
岩長祐伸;岩長祐伸