電子スピン共鳴を用いたシリコン酸化膜中欠陥準位の測定
電子スピン共鳴を用いたシリコン酸化膜中欠陥準位の測定
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使用电子自旋共振测量氧化硅膜中的缺陷水平
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子晋久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村秀司;岡崎雄馬;高田真太郎;金子晋久
