M. Syed: "Structure of poly-Si films deposited at low temperature by plasma CVD on substrates exposed to different plasma"Thin Solid Films. 337. 27-31 (1999)
M. Syed: "Structure of poly-Si films deposited at low temperature by plasma CVD on substrates exposed to different plasma"Thin Solid Films. 337. 27-31 (1999)
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M. Syed：“通过等离子体 CVD 在暴露于不同等离子体的基材上低温沉积的多晶硅薄膜的结构”固体薄膜。
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